真空系统的弹性材料真空系统连接法兰的密封垫圈，可活动部分的密封圈需用弹性材料，有时也用一些弹性管子进行可弯曲的弹性连接。这些材料的主要特点是真空气密性好，弹性好，能耐一定的温度，饱和蒸气压低，放气率和渗透率小，常用的有氯丁橡胶、异丁橡胶、丁腈橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯、尼龙等。
天然橡胶有较高的弹性、机械强度和耐磨性，良好的耐水性、耐酸碱性，但其放气量较大。一般用于1X10-JPa的真空系统，使用温度为一30一80℃.
丁腈橡胶的渗透率小，耐油，适于做高真空系统的垫圈，工作温度为一2080℃.
氟橡胶具有良好的真空性能，其放气率及渗透率都很小，能耐较高温度，除气温度可达250℃，工作温度可达200℃，用于10×
10-8~10×10-1Pa的超高真空系统。聚四氯乙烯（塑料王）有良
好的耐热和绝缘性能，工作温度可达300℃，可用于超高真空系统。
一些弹性材料的性能如表4-2所示。
