隔膜真空阀图414所示的为隔膜真空阀的结构图。它主要由阀体、隔膜、阀杆和手轮组成。
阀体通常为铝合金铸件经机械加工而成。在阀体两头有连接法兰供与系统连接用。阀体内部有精加工的阀座，作为切断管路时的密封面。
阀的隔膜由橡胶或金属薄片制成。其中心固定在阀芯上，边缘固定在阀体和阀盖之间。利用阀杆上下移动，带动阀芯和隔膜上下运动，使阀开关。
用橡胶隔膜制成的隔膜阀，由于橡胶的放气率和渗气率都较
大，所以只能用于低真空范围。若用氟橡胶或金属隔膜，则可用于较高的真空系统中。冻干机的干燥室、冷阱的放气阀、放水阀、进水阀等口径较小的阀门，常采用真空隔膜阀。为了降低造价，在这些地方也允许采用球阀，但后者的密封性能不及前者。
