无油机械真空泵冻干机和其他被抽容积采用油封机械泵时，真空泵腔的油蒸气就有可能反流至冻干箱，从而污染制品。而以半导体、电子、生物制药工业为代表的领域中，其制造工艺迫切要求无油污染的洁净真空，因而近年来一些国家相继研制出工作真空在105~0.1Pa范围内的无油机械真空泵或称干式泵，以满足干式工艺的要求。
无油机械真空泵有非接触型的罗茨式、爪式、螺杆式和接触型的叶片式、凸轮式、摇摆活塞式、祸旋式等。医药冻干机中使用较多的是爪式、罗茨式、摇摆活塞式。
爪式真空泵这种泵采用了形状复杂的爪形转子，如图48和图49所示。
·两个爪形转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积，吸气口和排气口分别固定在两侧端盖的侧面上。两转子按图示方向旋转时，吸气口与泵腔接通，泵腔容积由小变大而吸气：当转子关闭吸气口时吸气结束，随后泵腔容积由大变小而压缩气体；当泵腔容积与排气口接通时，泵腔排气，直到泵腔与排气口隔断时为止，排气结束。转子继续旋转又重复上述吸气、压缩、排气过程。
这种泵目前有两种结构形式：一种是三级爪式转子加一级罗茨式转子构成的多级泵，另一种是四级爪式转子串联构成的多级泵，如图4-9所示。
罗茨泵和爪式泵的压缩比如图410所示。由于爪式泵沿轴向逆流少，故压缩比在高压区较高。
这种泵的吸气口、排气口设置在泵腔的端壁上，多级连接很方便，气道流畅，泵内腔压力变化平缓，有利于防止可凝性气体的凝
结。为了防止可凝性气体在泵内凝结，需要向泵腔内通净化气体。
现在的爪式泵极限压力为1~10Pa，抽速为100一180m3/h。
