用来获得真空的器械称为真空泵。根据泵的工作原理,真空泵可分为两大类。
(1)气体传输泵这类泵的工作原理是将气体由一方传输到另…方,然后排出泵外。例如,旋片式真空泵、水环泵、蒸气喷射泵、罗茨泵、油扩散泵,涡轮分子泵等。
(2)气体捕集泵这类泵的工作原理是利用各种吸气作用将气体吸附,暂时或永久地储存于泵内。如钛升华泵、溅射离子泵,用硫酸、五氧化二磷吸附水蒸气的吸气剂泵,用冷阱在低温下捕集水蒸气的低温泵等。
用来获得真空的器械称为真空泵。根据泵的工作原理,真空泵可分为两大类。
(1)气体传输泵这类泵的工作原理是将气体由一方传输到另…方,然后排出泵外。例如,旋片式真空泵、水环泵、蒸气喷射泵、罗茨泵、油扩散泵,涡轮分子泵等。
(2)气体捕集泵这类泵的工作原理是利用各种吸气作用将气体吸附,暂时或永久地储存于泵内。如钛升华泵、溅射离子泵,用硫酸、五氧化二磷吸附水蒸气的吸气剂泵,用冷阱在低温下捕集水蒸气的低温泵等。