这种湿度计的加速度高、体积小、测量范围大、反应迅速。其基本原理是:对一定几何结构的电容器来说，其电容量与二极间介质的介电系数ɛ成正比关系。不同物质ɛ值互不相等，一般介质ɛ值在2~5之间，但水的ɛ=81，比一般物质大很多。
电容式湿度计就是利用这个特点制成的，当空气中含有的水分变化时，能引起电容器电容量的变化，这个变化与空气中含水量有线性关系。但电容介质损耗与介质湿度也有关，湿度愈高，则损耗愈大，损耗大对测量精度是不利的。
如损耗很大，甚至无法测出电容量的变化。因此，电容式湿度计常用于低湿区的湿度测量，而低湿区的湿度测量却是前面几种湿度发信器的薄弱环节。
