利用高效过滤器和风机,可以组合成各种局部净化设备。
(1)净化工作台 净化工作台是一种具有代表性的局部净化设备,它可在局部造成100级或更高级别的洁净环境。从气流型式上净化工作台,通常有垂直单向流型和水平单向流441;从气流再循环角度上,可分为直流式工作台和再循环式工作台;从工作台面大小,可分为单席工作台和双席工作台。各种不同型式的工作台都必须配合不同用途选择使用。
净化工作台主要由预过滤器,高效过滤器、风机机组、静压箱、外壳、台面和配套的电器元器件组成。典型的结构如图44-17所示。
净化工作台的性能见表44-16所示。为了检验其实际性能,都必须遵循统一的性能测试标准。
(2)层流罩 是一种带HEPA的送风呈单向流的送风机组。它也是一种常用的局部净化设备,可造成1SO5级或更高级别的局部洁净环境,同时是组成洁净隧道的基本单元设备。
层流罩主要由外壳、预过滤器、高效过滤器、风机机组、静压箱和配套的电器元件组成。从结构型式上,层流罩有前回风型、后回风型、有气幕型和无气幕型;从安装方式上有吊装式和支撑式。