按洁净设备的装置方式分(见图44-5)。
1)全室型洁净室。这种洁净室一般利用集中式净化空调系统,向全室送风,使整个房间获得相同的等级。
2)局部型洁净室。利用局部净化装置,在车间内工艺有专门需要的地方提供洁净空气,使局部区域获得要求的洁净度。
3)结合型洁净室。实际情况下,为经济计,可利用集中净化系统使房间获得一定的洁净度;再在局部地区用专用净化设备提供很高的洁净度。现代洁净室的发展大多利用这种手段,灵活地、经济地通过两者合理结合的方式获得各种使用要求。
按洁净室验收阶段的不同分
1)空态洁净室。土建与设备(空调净化、水、电……)完成,经净化空调系统初调整后,进入初步试运行阶段,此时工艺设备和操作人员尚未进入室内,故这种状态下测得的空气洁净度是较高的。
2)静态洁净室。所有生产设备和工艺管路等均已接通,但操作人员尚未上岗。
3)动态洁净室。在上述基础上,有操作人员投入正常工作。这种状态表示了工程的实际使用要求,这时测得的室内洁净度是受到生产实际考验的。