图44-4示出洁净室的构成。从构成洁净室整体的“硬件”来说,有以下几部分:
1)洁净室围护结构。由土建材料现场构筑或工厂预制的构件构筑。除了合理的平剖面规划布置外,为满足洁净要求的建筑构造节点的设计和制作,也是重要的构成部分。
2)空调净化系统。在空调装置的基础上,强化空气过滤设施(三级过滤),控制正压、保证足够的风量。末级过滤器的性能对洁净室具有关键作用,末端高效过滤器安装的密封性也不可忽视。
3)附属设备。为保证洁净室的使用要求,应具有良好的人、物净化设施,如空气吹淋室、传递窗、余压阀等。此外,用于监测洁净室洁净度级别的尘粒计数器等也是不可缺少的设备。