从洁净室如何满足工艺使用要求来看，当以实现“洁净空间”为首要目标。为建立和维持该空间的洁净水平，应该按如图44一3所示的四个基本原则进行工程的设计、施工和运行管理。
(1)防止微尘直接侵入室内可通过以下途径来解决:
1)室内维持正压，防止洁净度比该洁净室低的周围空气直接入室。2)经高效过滤器过滤后的空气，不得被送风口等再污染，同时注意高效过滤器与安装密封设施，以免未经高效过滤的空气渗漏入室。3)应防止操作人员、工艺设备等进入洁净室时带入灰尘，故需经过人、物净化设施。
(2)防止微粒堆积
1)室内建筑内表面不应有凸出物和沟缝，以免堆积尘埃。2)设备、管路、家具等应易于清扫。3)设置真空清扫系统或真空扫除机，定期清扫。
(3)尽量防止微粒的发生这可由以下途径来达到:
1)易发尘的建筑材料、家具、用具不能使用。2)人员的个人卫生、洁净服、操作(动作)均遵循洁净规程，以减少发尘。3)提高工艺过程的机械化、自动化程度，这对高级别洁净室尤为重要。
(4)把室内发生的尘粒有效、迅速地排除
1)利用经超净(高效)过滤的空调空气排除室内发尘，可以采用“稀释冲淡”或“活塞置换”的手段来排除室内的发尘。2)必须比常规空调有足够的风量和合理的气流组织来实现尘粒的排除。气流组织要考虑到室内工艺设备和发尘点的位置等实际情况。
由此可知，洁净室技术是由土建、工艺、空调净化、设备等多方面共同配合才能达到要求的。
