洁净空调技术也称洁净室技术。除满足空调房间的温湿度常规要求外,通过工程技术方面的各种设施和严格管理,使室内微粒子含量、气流、压力等也控制在一定范围内,这种房间空间称洁净室。这一技术在世界上已经历了半个多世纪的发展。在我国是20世纪印年代中期开始发展的。随着工业生产、医疗事业、高科技的发展,其应用范围愈加广泛,而且技术要求也更为复杂了。目前它的代表性应用主要是在微电子工业、医药卫生及食品工业等。
1.微电子工业
微电子工业是当前对洁净室要求最高的行业。大规模和超大规模集成电路(LSI、VLSI和ULSI)的发展,对微尘控制要求越来越高。集成电路制造工艺中,集成度越大,则图形尺寸(以线宽为代表)越细,从而对洁净室控制粒径的尺寸也越小(通常为线宽的1/10),且含尘量也要求越低。此外,如现代工业中的液晶、光纤等的生产,同样均有洁净度的要求。
2.医药卫生
(1)药品生产我国的《药品生产管理规范》(又称GMP)已在全国范围内实施,对生产环境提出了相应于工艺过程的不同洁净级别要求。对于原料药制备、粉剂、针剂、片剂、大输液的生产、灌装等工艺,均已制定了洁净区和控制区的洁净标准。除了限定空气中尘埃粒子的大小和含量外,对生物粒子(细菌数)也有明确的限制。
(2)医院白血病的治疗室、烧伤病房、外科手术室,也必须根据具体条件采用洁净技术,以防止空气中细菌感染,对治疗起到环境保障作用。
(3)医学科学实验对于实验动物的饲养、遗传工程等医学科学实验过程,亦需配备洁净环境,才能取得有效的成果。为此,生物安全技术也得到有力的推动。
3.食品工业
食品的无菌包装(如软包装鲜果汁、牛乳等),在保持食品色、香、味、营养等方面大大优于用高温杀菌的罐装食品。所谓无菌包装,就是在洁净环境中完成包装工艺。其他如宇航工业、精密机械工业、仪器仪表工业、精细化学工业等,均广泛地应用了洁净空调技术。