图32-17是氦3/氦4稀释制冷机原理图。气体(纯氦3)由真空泵从1Pa压缩到4Pa,然后在一换热器和4.2K的氦浴中冷却。压缩气体通过1.2K的氦浴冷却而冷凝,液氦3经一毛细管膨胀,进一步在0.6 K的蒸馏器中冷却。液体进入混合室(氦3在0.005 K和0.050K间与氦4混合)之前在另一换热器中冷却。在混合室中,液体分离成两相:氦3的稀释相和氦3的浓相。氦3/氦4混合物的相图如图32-18所示。氦3分子从浓缩相膨胀到稀释相(向稀释相扩散),混合物的温度下降,而混合室从低温区吸热以维持定温。此过程相当于气体等温膨胀,只是混合器中的氦3没有对外作功。
稀释混合物经换热器回到蒸馏器,混合物中的氦3吸热蒸发。蒸馏器中液氮3含量约为1.0%,气相则为95%~98%。