为了改变热阴极电离真空规的测量上限低(10¯¹Pa)以及在较高压力下工作时容易烧断阴极的缺点,发展具有抗氧化能力和能在较高压力下测量的高压力电离真空规。这类规管主要采用涂敷氧化钇铱丝作阴极与方合式电极结构。这类真空计的测量范围为≥13~10¯⁴ Pa。我国通用的有ZJ-10 (DL-5 )型中真空电离规管和郭元恒教授发明的DL-8型高压力电离规管(郭氏规管100~10¯⁴ Pa),后者已在国际上生产和应用。
国产的电离真空规管的主要情况可如表2-25所示。
为了改变热阴极电离真空规的测量上限低(10¯¹Pa)以及在较高压力下工作时容易烧断阴极的缺点,发展具有抗氧化能力和能在较高压力下测量的高压力电离真空规。这类规管主要采用涂敷氧化钇铱丝作阴极与方合式电极结构。这类真空计的测量范围为≥13~10¯⁴ Pa。我国通用的有ZJ-10 (DL-5 )型中真空电离规管和郭元恒教授发明的DL-8型高压力电离规管(郭氏规管100~10¯⁴ Pa),后者已在国际上生产和应用。
国产的电离真空规管的主要情况可如表2-25所示。