真空密封有两种，一是靠金属或陶瓷或玻璃与金属焊接而实现的永久性密封；二是可拆卸的静密封和动密封。静密封是用元件连接，密封后保持静止状态；动密封就是必须保证既运动又要密封。
可拆卸的真空密封，都要有密封材料夹垫在元件接头法兰中间，靠挤压，紧固实现密封。根据真空度的要求可选择不同的密封材料。常用的密封材料有：橡胶、聚四氟乙烯、软金属的铝、无氧铜等。
真空脂用于涂在两个光滑平面之间起真空密封和润滑作用。真空封蜡用来填补真空系统上的小漏孔。真空封蜡分为真空泥和真空蜡两类。
表2-19为一些真空密封材料的使用温度。
