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真空测量仪表概述

   2020-10-16 子琪1708
核心提示:在真空技术中真空测量是与真空获得具有同等重要而且密切相关的组成部分。因为只有通过准确和可靠的真空测量,才能掌握在真空容器中所获得的真空是否达到了要求和满足工艺条件。

    真空技术中真空测量是与真空获得具有同等重要而且密切相关的组成部分。因为只有通过准确和可靠的真空测量,才能掌握在真空容器中所获得的真空是否达到了要求和满足工艺条件。测量真空度的仪器称为真空计或真空规。根据当今已获得的真空度范围已宽达10⁵~<10¯¹²Pa,但没有一种真空计能测量如此宽的压力范围,又因为不同真空区域的性质也不相同,所以产生了许多品种的真空计。


    原则上来说真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。凡能从其本身测得的物理量直接测得气体压力的真空计称为绝对真空计,这种真空计测精确度较高,主要用作校准的基准量具。当压力低于100Pa很难进行直接测量时,产生了利用气体在低压力下的某些物理特性(如热传导、电离、滞性和应变等)与压力的关系作间接测量的相对真空计,它必须用绝对真空计标定和校准后才能用于真空测量,其测量精确度较低,但它能直接读出被测压力、使用方便,在实际应用中占绝大多数。

 

 
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