电阻真空计又称皮喇尼(Pirani)真空计,是测量低真空的相对真空计。它的测量范围一般为<10⁴~10¯¹Pa。随着电阻式规管的改进(如对流导热结构),测量上限扩展到10⁵ Pa。
电阻真空计主要由电阻式规管和测量电路两部分组成,电阻式规管(图2-33)是在管壳内封装着一条电阻温度系数较大的电阻丝,常用的是如ϕ0.025~0.1mm钨丝或铂丝。测量时,规管与被测真空系统相接。在较低压力下,热电阻丝的电阻值取决于其周围气体的压力。
电阻真空计的测量电路,根据测量要求,其结构有定压式电路、定流式电路及定温式电路三种。
(1)定压式电路:维持热丝的加热电压不变,测量流过热丝的电流来作为压力的指示;
(2)定流式电路:维持热丝的加热电流不变,测量热丝两端的电压来作为压力的指示;
(3)定温式电路:维持热丝的加热温度不变(也就是电阻不变),测量热丝的输人功率来作为压力的指示。如果从电路的角度来看,定压式电路和定流式电路并没有本质上的区别。