电子卤素检漏仪是一种精密的检漏仪器，灵敏度可达5g/年以下，灵敏度高的电子检漏仪可检漏出0.5g/年左右的氟利昂泄漏量。
电子卤素检漏仪的结构如图6-22所示。用铂丝作阴极、铂罩作阳极构成一个电场，通电后铂丝达到炽热状态，发射出电子和正离子，仪器的探头(吸管)借助微型风扇的作用，将探测处的空气吸入，并通过电场。如果被吸入的空气中含有卤素(如R12、R22、R134等)，与炽热的铂丝接触即分解成卤化气体，电场中一旦出现卤化气体，铂丝(阴极)的离子放射量就要迅猛增加，所形成的离子流随着吸入空气中的卤素多少成比例地增减。因此，可根据离子电流的变化来确定泄漏量的多少。离子电流经过放大并通过仪表显示出量值，同时发出音响信号。
由于电子检漏仪的灵敏度很高，要求使用时被测试环境没有卤素和其他烟雾污染，因此不宜在污染量超过允许值的电冰箱生产或维修车间内检测。用电子卤素检漏仪进行精确检漏时，必须在空气新鲜的场所进行。检漏仪的灵敏度是可调的，由粗检到精检分为几挡。在有一定污染的环境中检漏时，可选择适当挡次。
使用电子检漏仪检漏时，应使探头与制冷系统被检部位保持3-5mm的距离，探头移动的速度不应超过50mm/s。使用过程中应严防大量氟利昂气体吸入检漏仪，因为过量的氟利昂会对检漏仪的电极造成短时或永久性污染，使其探测的灵敏度大大降低。
