洁净设备安装应按设备技术文件规定执行。安装设备的地面应平整，环境清洁。设备安装前应进行外表面清洁处理。带有通风机的气间室或吹淋室与地面间应垫隔振层，如橡胶板等。带联锁装置的设备，安装调试后应恢复正常联锁。
装配式洁净室的安装应符合以下规定:
1.装配式洁净室的构配件和材料，开箱应在清洁的室内进行，装配前应严格检查规格和质量。
2.装配式沽净室的组装。应在建筑装修工程已经完成，空间环境清洁、无积尘的条件下进行。洁净室的地面应干燥、平整，平整度允许偏差为1 mm/1 000 mm。
3.洁净室墙板的安装，放线应准确，按次序拼装，墙角应垂直交接，所有拼缝应平整严密。墙板的垂直度允许偏差为2 mm/1 000 mm.装配后每个单间的几何尺寸与设计要求的允许偏差为2 mm/1 000 mm。
4.洁净室吊顶在承受载荷后应保持平直，接头整齐、严密。
5.装配完毕的洁净室，所有拼接缝包括与建筑的接缝，均必须采取密封措施。洁净室组装完毕后.还应做漏风量测试，当室内朴压为100 Pa时，漏风量不应大于2 m³/(h·㎡)。
