由于故障的层次特性，故障原因和后果之间往往具有多层的关系。故障树诊断技术是以系统最不希望发生的事件(顶事件)为分析目标，以可能导致顶事件发生的其他事件为中间事件或底事件，按树枝状逐级细化，依次找出系统的全部故障因素，其最底层为故障机理已知的基本事件。
故障树分析包括定性与定量分析，借助故障树和Boolean代数逻辑运算法算出最小割集，利用De Morgan律计算出最小径集，找出导致顶事件发生的所有可能的故障模式，并求出顶事件发生的特征量和底事件的重要度。
将故障树用于溴化锂吸收式制冷机组的故障诊断中，来分析“冷剂水损失”和“冷剂水污染”问题，通过分析和计算，将基本事件的重要度分级，从而找出系统中最薄弱的因素，同时给出计算顶事件发生概率的精确及近似算法，由此实现用故障树对溴化锂吸收式制冷机进行故障模式识别、预测和诊断。而且通过重要度分析，可改进设计，实现系统优化，也可以对系统实行风险评价。
