真空泵是用来抽除密封容器气体而获得一定真空度的基本设备之一，它可单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子双等的前级泵。
1)保持泵的清洁，防止杂物进入泵内。
2)保持油位。
3)存放不当，水分或其他挥发性物质进入泵内而影响极限真空时，可开气镇阀净化，若数小时无效，则应更换泵油。换油方法:先开泵运转约半小时，使油变稀，停泵。从放油孔放油，再敞开进气口运转1~2min。在此期间可从吸气口缓慢加入少量的清洁泵油，以更换泵腔内存油。
4)不可混入柴油、汽油等其他饱和蒸气压较大的油类，以免降低极限真空。拆洗泵内零件时，一般用纱布擦拭即可，有金属碎屑、沙泥或其他有害物质时，可用汽油等擦洗，干燥后方可装配。
