直流热等离子
直流热等离子技术是目前氟利昂处理方法中最有效和最有发展前景的热等离子体技术。澳大利亚、法国、日本、美国等都在大力发展该技术，具有代表性的工艺是由东京电力公司、日本钢铁公司、日本电子公司及通产省国家资源与环境研究所共同开发的。
澳大利亚的CS1RO公司和SRL Plasm公司也联合发展了PLASCONTh直流热等离子技术，但C、CF、CI等副产物残留以及电极与耐火材料消耗等问题是该技术与其他直流等离子体技术共有的有待解决的重要问题。近期发展起来的高频电感耦合等离子体(ICP)处理技术克服了其他直流等离子体技术中存在的电极消耗与耐火材料消耗等问题。
高频ICP具有高频趋肤效应，CFCs随载气进人中心通道，在高温环状等离子体作用下热解，进而与外层支持气体混合反应。高功率高频ICP可采用空气或氧气为支持气体，大大减少运行成本，同时大量存在的氧气可进一步提高消解效率，当应用氢氧混合气作ICP支持气体,或应用水汽与CFCs化合物混合消解技术时,CF4和CF3CI等含F残留有可能得到进一步降低。在输出等离子体100kw,等离子体温度在1x10⁴℃以上的条件下，高频ICP对CFC-12的消解效率大于99.99%，高于直流等离子体技术(PLASCON)和低频ICP技术。
虽然高功率高频ICP在CFCs处理方面有很大的潜力，但在工作参数优化、现场监控等方面还有待进一步深入研究。
放电等离子体处理技术
放电等离子体技术是通过高电压放电而获得等离子体的方法.主要有脉冲放电、沿面放电和无声放电等。它们处理低浓度废气时比较有效。不同形式的放电等离子体反应器分解氟利昂的效率不同，例如脉冲放电等离子体反应器处理CFC-113的分解率约为70%，而用高频波的沿面放电型反应器则相应分解率大于99%。通过高压放电来产生等离子体存在爆炸等安全隐患。
