电容式传感器所具有的高灵敏度、高精度等独特的优点是与其正确设计、正确选材以及精细的加工工艺分不开的。在设计传感器的过程中,在所要求的量程、温度和压力范围内,应尽量使它具有低成本、高精度、高分辨力、稳定可靠和好的频率响应等,但一般不易达到理想程度,因此经常采用折囊方案。对于电容传感器,设计时可以从下面几个方面予以考虑:
减小环境温度、湿度等变化所产生的误差,保证绝缘材料的绝缘性能温度变化使传感器内各零件的几何尺寸和相互位置及某些介质的介电常数发生改变,从而改变传感器的电容量,产生温度误差。湿度也影响某些介质的介电常数和绝缘电阻值。因此必须从选材、结构、加工工艺等方面来减小温度等误差和保证绝缘材料具有高的绝缘性能。
电容式传感器的金属电极的材料以选用温度系数低的铁镍合金为好,但较难加工。也可采用在陶盗或石英上喷镜金或银的工艺,这样电极可以做得极落,对了减小边缘效应极为有利。
传感器内电极表面不便经常清洗,应加以密封,用以防尘、防潮。若在电极表面镜以极菏的惟性金属(如能等)层,则可代蕉密封件而起保护作用,可防尘、防温、防湿、防腐蚀,并且在高温下可减少表面损耗,降低温度系数,但成本较高。