传感器内，电极的支架除要有一定的机械强度外还要有稳定的性能。因此选用温度系数小和几何尺寸长期稳定性好，并具有高的绝缘电阻、低的吸潮性和高的表面电阻的材料，例如石英、云母、人造宝石及各种陶咨作支架。虽然这些材料较难加工但性能远高于塑料、有机致璃等。在温度不太高的环境下，聚四氟乙烯具有良好的绝缘性能，选用时也可予以考不。
尽量采用空气或云母等介电常数的温度系数近似为零的电介质(也不受湿度变化的影响)作为电容式传感器的电介质。若用某些液体如硅油、煤油等作为电介质，当环境温度、湿度变化时，它们的介电常数随之改变，产生误差。这种误差虽可用后接电子线路加以补偿(如采用与测量电桥相并联的补偿电桥)，但不易完全消除。
在可能的情况下，传感器内尽量采用差动对称结构，这样可以通过某些类型的电子线路(如电桥)来减小温度等误差。
可以用数学关系式来表达温度等变化所产生的误差，作为设计依据，但比较繁琐。选用50kHz至几兆赫作为传感器的电源频率，可以降低对传感器绝缘部分的绝缘要求。
传感器内所有的零件应先进行清洗、烘干后再装配。传感器要密封以防止水分侵入内部而引起电容值变化和绝缘变坏，传感器的壳体刚性要好，以免安装时变形。
