集成化智能传感器的基本组成方框图如图15-2所示，它包括传感器、补偿和校正、调整电路、输入接口、微处理器和信息接口等。
智能传感器集成化的概念包含两方面的含义，一方面，是指把许多同样的单个传感器按一定规律进行阵列集成，这样形成的传感器就可以对空间参数进行测量，而形成的传感器称为一维传感器或二维传感器(按排列方式不同)。例如,CCD图像传感器即属于此类传感器。它有线列CCD和面阵CCD之分,由许多单个光传感器(像素)组成,由于单个像素很小,一般约为10μm左右,所以可获得非常清晰的图像。另一方面,是指把传感器的功能集成化。比如,将传感器与其后的各种信号调整电路集成在同一芯片上,形成单片集成传感器;或者将它们分别集成在几块芯片上,然后再将这几块芯片组装在一起形成混合集成传感器,例如混合集成压力传感器就是这样设计的。
