透射式光栅传感器的结构和工作原理
光栅的基本元件是主光栅和指示光栅。它们是在一块长条形光学玻璃上,均匀刻上许多明暗相间、宽度相等的刻线,如图14-1(a)所示。常用的光栅每毫米有10、25、50、100和250条线。主光栅的刻线一般比指示光栅长。若刻线宽度为a,缝隙宽度为b,则w=a+b为光栅节距或栅距。通常取a=b=W/2.
若将两块光栅(主光栅、只是光栅)叠合在一起,并且使它们的刻线之间成一个很小的角度θ,如图14-1(b)。由于遮光效应,两块光栅的刻线交处形成亮带,而在一块光栅的刻线与另一块光栅的缝隙相交处形成暗带,在与光栅刻线垂直的方向,将出现明暗相间的条纹,这些条纹就称为莫尔条纹。
如果改变θ角,两条莫尔条纹间的距离B也随之变化。由图14-1(b)可知,条纹间距B与栅距W和夹角θ角有如下关系:
将两块光栅沿着垂直于刻线方向相对移动时,莫尔条纹沿着刻线方向移动,光栅移动一个节距W,莫尔条纹也移动一个间距B。
从式14-1可知,θ越小,B越大,使得B>>W,即莫尔现象有使栅距放大的作用,因此,读出莫尔条纹的数目比读出光栅刻线要方便的多。通过光栅栅距的位移和莫尔条纹的对应关系,就可以容易地测量莫尔条纹移动数,获取小于光栅栅距的微小位移量。
透射式圆盘光栅如图14-2(a)所示。光栅盘内是一个定位圆(φ=w/2),两条相邻刻线的教教为角距离。通常在圆盘上刻有1080~648000条线。将两块具有相同栅距W的圆光栅叠合在一起,使其圆心O与O’之间保持很小的偏差量c,于是光栅各个部分的夹角θ将不同,便形成了不同曲率半径的圆弧莫尔条纹,如图14-2(b)所示。