（4）惰性气体。惰性气体一般对润滑油无作用，如氢、氮可使用与压缩干空气相同的压缩机油。
氨氢压缩机（36MPa）可用24号气缸油润滑。
对氩、氖、氮等稀有贵重气体，往往要求气体中绝对无水，并不带有任何油质。因此，一般用膜式压缩机，没有气缸润滑问题。
二氧化碳及一氧化碳与矿物油有互溶性，会使油的粘度降低，如果有水，还会产生腐蚀性的碳酸。因此应保持干燥，并用更高粘度的润滑油，以减少油气带出。
压缩二氧化碳介质的润滑油，一般用粘度不低于SAE50含添加剂的油；压力为14MPa时，用SAE60的油。
由于二氧化碳与油混合使气体污染，当气体用来加工食品或不允许污染时，应用液体或乙醇肥皂作为润滑剂。这种润滑剂一般很少使用。因为气缸润滑能够控制，污染可降低到允许的程度。
日本推荐二氧化碳压缩机用Daphne Machanic oil65号油，该油实际质量水平相当于无级变速器油，具有好的抗高温氧化、防锈、消泡和水分离性能。
在压缩氨或合成气（常含大量氨）时，一般采用离心压缩机。系统必须保持干燥，尽可能减少油与输送气接触，因为有水分存在时，氨与油的酸性氧化物作用会生成沉淀。此外，氨还会与酸性防锈剂产生不溶性皂。在压缩和驱动设备之间，通常装有增速器。压缩机和增速器之间的活动联轴器则可能受润滑系统不溶物的影响，活动联轴器的转速高达10000~13000r/min，这时油中的沉淀和其他不溶物可能由于离心力的作用被甩出来，结果使联轴器失去平衡而产生振动，并使润滑条件变坏。为了消除这种不良后果，可在油系统中采用过滤脱水措施，或改用润滑脂来润滑。若将联轴器和油系统隔开，也可达到同样的目的。最好的办法是选用专用的抗氨汽轮机油
