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无油机械真空泵-爪式真空泵

2022-04-071670

无油机械真空泵冻干机和其他被抽容积采用油封机械泵时,真空泵腔的油蒸气就有可能反流至冻干箱,从而污染制品。而以半导体、电子、生物制药工业为代表的领域中,其制造工艺迫切要求无油污染的洁净真空,因而近年来一些国家相继研制出工作真空在105~0.1Pa范围内的无油机械真空泵或称干式泵,以满足干式工艺的要求。

无油机械真空泵有非接触型的罗茨式、爪式、螺杆式和接触型的叶片式、凸轮式、摇摆活塞式、祸旋式等。医药冻干机中使用较多的是爪式、罗茨式、摇摆活塞式。

爪式真空泵这种泵采用了形状复杂的爪形转子,如图48和图49所示。

·两个爪形转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积,吸气口和排气口分别固定在两侧端盖的侧面上。两转子按图示方向旋转时,吸气口与泵腔接通,泵腔容积由小变大而吸气:当转子关闭吸气口时吸气结束,随后泵腔容积由大变小而压缩气体;当泵腔容积与排气口接通时,泵腔排气,直到泵腔与排气口隔断时为止,排气结束。转子继续旋转又重复上述吸气、压缩、排气过程。

这种泵目前有两种结构形式:一种是三级爪式转子加一级罗茨式转子构成的多级泵,另一种是四级爪式转子串联构成的多级泵,如图4-9所示。

罗茨泵和爪式泵的压缩比如图410所示。由于爪式泵沿轴向逆流少,故压缩比在高压区较高。

这种泵的吸气口、排气口设置在泵腔的端壁上,多级连接很方便,气道流畅,泵内腔压力变化平缓,有利于防止可凝性气体的凝

结。为了防止可凝性气体在泵内凝结,需要向泵腔内通净化气体。

现在的爪式泵极限压力为1~10Pa,抽速为100一180m3/h。


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