洁净室除了过滤器及净化空调系统，还需要各种局部净化设备及附属设备。
局部净化设备是在特定的局部空问内造成高洁净度状态的装置。由于它控制区域小，所以蛟有效、节能。工艺许可的话，应尽量采用它，但送出的洁净气流不断被周围空气污染，洁净区域越来越小。洁净送风气流浓度场变化见图44-15。
为了保护设备送出的洁净气流免受周围空气污染，可采用全壁方式(即把局部空AID月板壁全部围档)、部分壁方式(即部分围档)和空气幕方式(用空气幕作围档)。IN档越长，洁净区作用域越远，但空间自由度越小，对工艺适应能力越差。有时为厂适应工艺需要不得不采用无壁方式。图44-16示出无壁与部分壁的区别。
